Paddle Cantilevers tal-Karbur tas-Silikon
Prodott dettaljat u applikazzjoni
Forza kbira tat-tagħbija tal-wejfers karbur tas-silikon SiSiC / SiC cantilever paddle / beam hija adattata għal sistema awtomatika ta 'tagħbija u maniġġar ta' robot minħabba li għandha prestazzjoni stabbli, nuqqas ta 'deformazzjoni f'temperatura għolja u forza kbira ta' tagħbija ta 'wejfer. Peress li t-taqsima tal-qaddfa bil-cantilever hija stabbli mingħajr deformazzjoni, huwa possibbli li tagħmel wejfer ta 'daqs akbar billi tuża tubi tal-forn eżistenti. Forza kbira tat-tagħbija tal-wejfer karbur tas-silikon SiSiC / SiC cantilever paddle / beam tista 'tiġi applikata għal LPVCD fuq il-bażi tal-koeffiċjent ta' espansjoni termali simili tiegħu b'kisja LPVCD, li ttawwal ħafna ċ-ċiklu ta 'manutenzjoni u tindif, u tnaqqas b'mod sinifikanti l-inkwinanti.
Parametri tekniċi tal-karbur tas-silikon marbut mar-reazzjoni RBSIC:
| oġġett | unità | dejta |
| Temperatura ta 'applikazzjoni | ℃ | 1380 |
| densità | G / cm3 | > = 3.02 |
| Porosità miftuħa | % | <0.1 |
| L-Iskala ta 'ebusija ta' Moh | 13 | |
| Saħħa tal-liwi | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulu ta 'elastiċità | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Konduttività termali | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Koeffiċjent ta 'espansjoni termika | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Alkalin li ma jagħmilx aċidu | Eċċellenti |
karatteristiċi:
a. Ma jiddeformax f'temperatura għolja u l-forza tat-tagħbija tal-wejfer hija kbira;
b. Reżistenza eċċellenti ta 'xokk termali u ħajja twila ta' servizz;
c. Il-koeffiċjent ta 'espansjoni termali tal-qadfa bil-cantilever huwa żgħir ħafna, li jtawwal ħafna ċ-ċiklu ta' manutenzjoni u tindif;
u tnaqqas drastikament l-inkwinanti
Għamara oħra tal-kalkara magħmula miċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon
Minbarra l-paddle cantilever SiSiC tal-karbur tas-silikon sinterizzat għal Reazzjoni għat-tagħbija tal-wejfer, aħna nipproduċu wkoll għamara oħra tal-kalkara inklużi raġġi tal-karbur tas-silikon RBSIC / SISIC, tubi taż-żennuna, tubu taż-żennuna spirali, tubu taż-żennuna li ddawwar, lamti / setter tal-karbur tas-silikon SIC marbut bl-ossidu u pajpijiet tat-tkessiħ RBSIC .
Prodotti reżistenti għall-ilbies tal-karbur tas-silikon RBSIC / SISIC
Minħabba li l-prodott tagħna tal-karbur tas-silikon RBSIC / SISIC għandu l-vantaġġi ta 'reżistenza eċċellenti għall-ilbies, reżistenza għall-korrużjoni u ħajja twila ta' servizz, jista 'jsir ukoll kisjiet reżistenti għall-ilbies li jistgħu jiġu installati faċilment f'pajpijiet jew ċikluni tal-ipproċessar.
